集成

　　近期一份MEMS传感器研究报告表明，新兴MEMS传感器正在不断涌现，基于MEMS技术的化学/气体传感器将成为未来的“明星”产品。到2020年，全球MEMS产业将超过200亿美元。 　　MEMS产业越来越成熟，新兴器件不断涌现 　　2014年，硅基MEMS器件的市场规模达到111亿美元。由于智能手机和平板电脑的巨大市场需求，MEMS产业发展进入快车道，后续还有增长潜力无限的可穿戴和物联网（Io

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